一般用語集
用語集
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て
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て
でんしビームろこうそうち【電子ビーム露光装置】
項目
でんしビームろこうそうち【電子ビーム露光装置】
意味
〔electronic beam exposure equipment〕電子ビームを用いて，半導体回路を描く装置。微細な回路をシリコンウエハー上に直接描くことができる。