一般用語集
用語集
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す
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スパッタリング【sputtering】
項目
スパッタリング【sputtering】
意味
薄膜を形成するための技術の一。金属などに不活性ガスを吹きつけ，それにより弾き出された分子を目的物の表面につける。均一で高品質の膜が形成され，半導体製造過程などで用いられる。