電気用語集
用語集
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露光装置
項目
露光装置 ／ ろこうそうち
英語
lithography
意味
半導体や液晶パネルの基板の作成などに用いられる、回路パターンなどをレーザー光で「現像」する装置。また、その過程。「フォトリソグラフィ」「ステッパー」とも呼ばれる。