電気用語集
用語集
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ふ
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ファンフィルタユニット
項目
ファンフィルタユニット / ふぁんふぃるたゆにっと
英語
fan filter unit
意味
送風機とフィルタが一体として組み立てられた装置。一般に高性能フィルタと組み合わせ、クリーンルームの天井に設置される装置を呼ぶ。局所的な清浄度の向上や、大形クリーンルームの階高減少、動力減少を目的に採用される。