電気用語集
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層流型クリーンルーム
項目
層流型クリーンルーム / そうりゅうがたくりーんるーむ
英語
laminar flow clean room
意味
クリーンルーム内で、清浄な空気を天井から床、あるいは側壁から対向壁へ層流状に流し、汚染物の拡散を抑制する方式。洗浄度は高く保たれるが、比較的高価。