電気用語集
用語集
電気用語集
く
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クリーンルーム
項目
クリーンルーム ／ くりーんるーむ
英語
clean room
意味
室内に存在する浮遊じんあい量を、極端に少ない値に管理している室。半導体や超精密機械の製作に欠かせない。清浄度は「クラス○○」と表現されて何段階かに分かれて規定されている。「無じん室」ともいう。