電気用語集
用語集
電気用語集
か
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海塩粒子
項目
海塩粒子 ／ かいえんりゅうし
英語
saline particle
意味
海の波がくだけで発生する海水の水滴粒子が、内陸部に流れ込んで浮遊しているもの。半導体製造などでは有害物質であり、徹底して除去することが要求される。